科里奧利力原理

通過測量流體在振動管道中產(chǎn)生的科里奧利力來計算質(zhì)量流量。此方法直接測量質(zhì)量流量，適用于大流量高溫高壓的工業(yè)場景。

三、核心組件與系統(tǒng)架構(gòu)

MFC由四大核心模塊構(gòu)成：

流量傳感器：負責實時檢測流量，如熱敏元件或振動管。

層流元件：將流體分為測量流與參考流，確保檢測穩(wěn)定性。

調(diào)節(jié)閥：根據(jù)控制信號動態(tài)調(diào)整開度，常見類型包括電磁閥和比例閥。

控制器：集成信號處理與反饋算法，如PID控制，實現(xiàn)流量閉環(huán)調(diào)節(jié)。

四、技術(shù)優(yōu)勢與性能參數(shù)

高精度：易度MFC精度可達±0.5% S.P。

快速響應：先進傳感器設(shè)計使響應時間縮短至0.1秒內(nèi)。

環(huán)境適應性：支持-50~110°C介質(zhì)溫度，部分型號具備IP67防護等級，適用于腐蝕性、高溫環(huán)境。

智能化擴展：支持RS485、Modbus、PROFIBUS等協(xié)議，可集成遠程監(jiān)控與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。

五、應用領(lǐng)域與典型案例

半導體制造

在化學氣相沉積（CVD）中控制硅烷氣體流量，確保薄膜均勻性。

等離子刻蝕工藝中精確調(diào)節(jié)反應氣體比例，提升蝕刻精度。

石油化工

催化重整過程中調(diào)控氫氣流量，優(yōu)化汽油辛烷值。

火炬氣監(jiān)測與裂解爐燃料控制，保障生產(chǎn)安全。

醫(yī)療設(shè)備

呼吸機與麻醉機的氧氣流量控制，誤差需低于1%以保障患者安全。

環(huán)保監(jiān)測

大氣污染物（如SO?、NO?）采樣分析，流量穩(wěn)定性直接影響檢測準確性。

質(zhì)量流量控制器作為工業(yè)自動化的“流量守門員"，其技術(shù)演進持續(xù)推動著精密制造、科學研究的邊界。未來，隨著新材料與物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的融合，MFC將在更多高精尖領(lǐng)域展現(xiàn)其核心價值。