氣密性測試是產(chǎn)品質(zhì)量控制的重要環(huán)節(jié)，小到一部手機(jī)、一個藥瓶，大到汽車發(fā)動機(jī)甚至航空航天關(guān)鍵設(shè)備，能否有效密封都關(guān)系到產(chǎn)品性能甚至安全性。1986年美國挑戰(zhàn)者號航天飛機(jī)在起飛后73秒就發(fā)生爆炸，導(dǎo)致七名宇航員不幸遇難，事后查明原因僅僅是因為右側(cè)助推器一個O型密封圈失效導(dǎo)致燃料泄漏。如果事先對該密封部位進(jìn)行細(xì)致的氣密性測試則可很大程度上避免災(zāi)難的發(fā)生。可見，氣密性測試在諸多行業(yè)中都顯得尤為重要。

挑戰(zhàn)者號航天飛機(jī)空難

氣密性測試通常有壓差法、流量法和氦檢三種。壓差法技術(shù)難度較低同時效果也一般；流量法對管路設(shè)計有較高要求；氦檢精度高，但造價昂貴。德國著名的普發(fā)真空主流的氣密性測試設(shè)備采用的就是流量法和氦檢。其中流量法的核心部件就是高性能氣體質(zhì)量流量計。

流量法檢漏設(shè)備根據(jù)被測產(chǎn)品性質(zhì)不同分為質(zhì)量流量檢漏儀和真空檢漏儀。

質(zhì)量流量檢漏儀

將被測產(chǎn)品放入一定容腔內(nèi)，通過壓力源經(jīng)充氣排氣閥給容腔充氣使壓力達(dá)到一定值，關(guān)閉充氣排氣閥，切換流量選擇閥，使流量計一端接壓力源，一端接被測產(chǎn)品，此時流量計兩端應(yīng)處于壓力平衡狀態(tài)，流量為0。如果被測產(chǎn)品有泄漏，流量計右側(cè)壓力會降低，氣體在壓力源的壓力下產(chǎn)生流動，流量計產(chǎn)生讀數(shù)，當(dāng)讀數(shù)超過一定值時可判定為被測產(chǎn)品不合格。

真空檢漏儀

將被測產(chǎn)品放入一定容腔內(nèi)，通過真空泵經(jīng)流量隔離閥將檢測容腔抽至所需的負(fù)壓狀態(tài)，關(guān)閉流量隔離閥，此時流量計兩端均處于負(fù)壓平衡狀態(tài)，流量為0。如果被測產(chǎn)品有泄漏，檢測容腔內(nèi)壓力升高，氣體從檢測容腔經(jīng)過流量計流向真空容器，流量計產(chǎn)生讀數(shù)，當(dāng)讀數(shù)超過一定值時可判定為被測產(chǎn)品不合格。

應(yīng)用在這兩種場景下的流量計推必須具備以下特點：

·極快的流量響應(yīng)速度；

·流量測量的高精度、高靈敏性；

·寬量程比，在全量程段上性能優(yōu)異；

·能夠測微小流量；

·良好的穩(wěn)定性、重復(fù)性；

·較寬的溫度和壓力適用范圍；

·較低的壓力損失。

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·100ms的流量響應(yīng)速度，可定制更快的響應(yīng)速度；

·在20%～100%量程范圍內(nèi)保持±1.0%Rd精度；

·100:1量程比，可定制更寬量程比；

·最小滿量程0.5SCCM，可測0.005mL/min的極微流量；

·先進(jìn)的層流壓差原理，高性能傳感器，確保了測量的高可靠性和高穩(wěn)定性；

·-20～50℃的溫度適用范圍，0～1MPa的壓力適用范圍，幾乎涵蓋所有測試場景；

·壓損低至2kPa甚至800Pa，可定制更低壓損；

·多種氣體介質(zhì)任意切換；

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·溫度、壓力、標(biāo)況流量、工況流量、累計流量同屏顯示，一目了然，無需連接電腦；

·單位切換、介質(zhì)切換僅需動動手指，簡單方便。